ٽيڪنيڪل پيرا ميٽرز:
| شيءِ | پيرا ميٽر |
| ٽيسٽ جي حد | 0.01~6500(سي سي/㎡.24 ڪلاڪ) |
| ريزوليوشن تناسب | 0.001 |
| پارگميتا جي مٿاڇري واري ايراضي | 50 سينٽي ميٽر (ٻيا ڪسٽم ٺهيل هجڻ گهرجن) |
| مائڪرو نيوڪليس قطر جي ماپ | 108*108 ايم ايم |
| نموني جي ٿولهه | <3 ملي ميٽر (لوازمات شامل ڪرڻ لاءِ ٿلهو ضرورت آهي) |
| نموني مقدار | 1 |
| ٽيسٽ موڊ | آزاد سينسر |
| گرمي پد جي حد | 15℃ ~ 55℃ (درجه حرارت ڪنٽرول ڊوائيس الڳ خريد ڪيو ويو) |
| گرمي پد ڪنٽرول جي درستگي | ±0.1 ℃ |
| ڪيريئر گيس | 99.999٪ اعليٰ پاڪائي وارو نائٽروجن (هوا جو ذريعو استعمال ڪندڙ) |
| ڪيريئر گيس جو وهڪرو | 0 ~ 100 ايم ايل / منٽ |
| هوائي ذريعو دٻاءُ | ≥0.2 ايم پي اي |
| انٽرفيس جو سائز | 1/8 انچ ڌاتو پائپ |
| پکيڙ | 740 ملي ميٽر (ايل) × 415 ملي ميٽر (ڊبليو) × 430 ملي ميٽر (ايڇ) |
| وولٽيج | اي سي 220V 50Hz |
| ڪل وزن | 50 ڪلوگرام |